薄型透明光學元件

薄型透明光學元件的種類包括平面平行的光學元件,如:視窗和曲面組件中的雷達和光學雷達圓頂

測量透明光學元件時,干涉儀測試軌跡中的所有表面都可能產生干擾。 大多數的光學元件厚度足夠,或其表面之間具有足夠大的斜角,因此通常只有一個表面與參考表面產生干涉。然而,當元件很薄且表面平行時,兩個表面都會與參考表面干涉,產生複雜的干涉圖,如下圖所示的薄玻璃。 使用這種密集的模板來測量表面是相當困難的。

通常解決這個問題的方法,是在一個表面上使用抗反射鍍膜,以便測量另一個表面;接著重複一樣的步驟,去除原先表面上的塗料,在另一個表面上使用抗反射鍍膜,便可在原先的表面上進行第二次的測量。 這是一項耗時耗力的操作,且會使光學元件面臨損壞的風險。

短相干性(同調性)光源測試

對於短相干性雷射光源,干涉僅發生在參考表面較窄距離範圍內的表面之間。 使用短相干性干涉儀,操作者可以隔離單一表面進行測量,即使在多組件系統中也是如此。 下方的干涉圖顯示了與上圖相同的玻璃,但由於這裡的短相干性光源,只有一個表面發生干擾並且不需要用上抗反射鍍膜。

同時測量兩個表面或更多表面

使用短相干性干涉儀可先測量光學元件的前表面,再通過光學元件測量後表面,無需重新調整或重新對齊系統。經由這兩次測量,我們可以提取光學厚度變化和透過波前誤差。另外,增加空腔測量則可以進行均勻性測試。

測量拱形物件和其他曲面

高度彎曲的透明部件也可以用這種方式進行測量。但是,這些測量需要斐索干涉儀的一項附加功能:最小回返誤差,這會導致曲面測量出現顯著的誤差。AccuFiz D 短相干性干涉儀採用完全同軸設計,最大限度地減少回返誤差,且立即的「動態測量」可確保高精準度,即使在吵雜的環境中也不會受影響。 這樣的操作方式可以精確測量拱形物件

像平面平行光學元件一樣,拱形物件的兩個表面都可以在單一測試裝置中進行測量。 參考球體將波前與拱形的標稱形狀相配對。 自動「路徑配對」機制精確地定位前方表面和後方表面的距離。

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AccuFiz D Short Coherence Interferometer

short coherence length光源和動態干涉測量可讓您單獨測量透明光學元件的各個表面。 亦可量測遠端腔體和光學厚度,甚至在較薄的材料上也游刃有餘。

Surface Isolation Source (SIS)

SIS 是一套選配的外部雷射光源,針對量測路徑中含有兩個或以上的透明且平行的表面,本配件可以排除任一表面以外的所有内容。本模組讓您可以使用標準的 AccuFiz 干涉儀同时测量透明光學元件的两個表面。您還可以通過單一量測設置計算透射波前誤差、光學厚度和均匀性。