AccuFiz D
專為超薄且透明或多平面的光學元件而設計
無需進行任何塗層。即使在較薄的材料上，也可完美計算透射波前誤差、光學厚度和均勻性
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Accufiz D
斐索干涉儀(Fizeau interferometers)
short coherence length光源和動態干涉測量可讓您單獨測量透明光學元件的各個表面。 亦可量測遠端腔體和光學厚度，甚至在較薄的材料上也游刃有餘。
AccuFiz D 簡介
測量『薄』的透明光學元件是一項極具挑戰性的應用。 來自透明的兩個表面其反射會產生難以或不可能測量的複雜條紋圖案。
AccuFiz D 短相干(Short Coherence)動態斐索干涉儀可對平面和曲面透明光學元件進行高精度測量。 其短相干波長光源意味著您可以測量相距 <0.2 mm 的平面平行表面，而無需任何塗層來消除不需要的干涉條紋。 快速、自動的系統可讓您快速掃描以定位每個表面。
Short Coherence雷射光源
讓您輕鬆測量相距 <0.2 mm 的平面平行表面
多樣化的選配及配件
設計靈活的AccuFiz 家族包括一系列雷射光源、多孔徑尺寸以及多種的安裝組件和配件可供選擇
且短相干源、全同軸光學設計和 4D 的專利動態干涉(Dynamic Interferometry)測量相結合，讓您可以隔離和測量複雜光學系統中的各個表面。 執行遠端空腔和實體空腔測試，甚至測量環境室和真空室。
AccuFiz D 無需緩慢、振動敏感的相移。 其專利的單鏡頭高速相位感測器可在短短 150 微秒內完成完整的波前測量。 由於採集時間很短，該系統幾乎可以在任何條件下使用，甚至可以測量運動部件，無需隔振。
AccuFiz D 採用完全同軸設計，這意味著參考(Reference)光束和測試(Test)光束皆沿著相同的路徑穿過儀器的成像光學元件。 因此，系統內部光學元件的像差和厚度變化相互抵消。 這也促使了即使在非球形元件和其他曲面上也能達到高精度量。
廣泛的產品應用
源於 AccuFiz D 對振動不敏感的特性，因此它可以在許多其他儀器無法操作的環境中運作。 例如下方的應用環境：
- 寬景窗(Windows)、薄玻璃、藍寶石晶圓
- 光學球面鏡頭罩(Dome)和其他彎曲的透明組件
- 平面、球體、稜柱(Prisms)
- 拋光半導體元件
- 遠端腔體(Remote cavities)
- 實心空腔(Solid cavities)
- 光學厚度(Optical thickness)
- 元件或光學系統的穿透率
- 移動中的待測物
- 真空腔體或環境控制室中的零件
| AccuFiz D Specs | |
|---|---|
| Configuration | On-axis Fizeau interferometer |
| Acquisition | Vibration-insensitive Dynamic Interferometry |
| Source | External Short coherence (~200µm) source |
| Wavelength | 636 nm |
| Camera | 4MP, 12-bit |
| Controls | Remote control focus, zoom, pan, extended source size, measurement |
| Zoom | Continuous 1–10X with pan, calibrated at all zoom settings |
| Software | 4Sight™ Focus included |
| Size | Small, 51.4 cm (20.2 in) long |
| Aperture | 100 mm (4 in) or 150 mm (6 in); optional to 600 mm (24 in) |
4Sight Focus 軟體
全新的 4Sight Focus分析軟體 – 適用於4D所有的光干涉儀產品，可提供極快的取樣速度、豐富的視覺效果和完整的分析功能。
- 快速量測和分析
- 乾淨、可設定的使用者介面
- 簡單易學
- 深度分析能力
- 輕鬆數據輸出
- 智慧整合和自動化
