玻璃基板/底材

玻璃基板是各種光學元件的基礎原料。玻璃毛坯經過研磨、塗層和拋光後,可用於製作鏡子和鏡片。此外,也可以在光學視窗上塗多層濾光塗層,把它當作玻璃基板來使用。玻璃基板具有熱穩定性,在進行傳輸時十分穩定,厚度可從微米到直徑數公尺都有。

測量基板的平整度

在鍍膜的過程中,保持玻璃基板的平整度是十分重要的。除了玻璃本身之外,用來固定玻璃的吸盤也比須非常平整。4D 的多功能 AccuFiz Fizeau 干涉儀可快速、重複地測量直徑為 30-600mm 基板的整體平整度。此外,也有提供各種基座和高品質參考光學元件,來幫助完成測量的設定。

測量基板的傳輸質量

用於傳輸的基底材料必須無粗糙度、高度均勻且光學厚度一致。 AccuFiz 干涉儀可測量基板的透射和反射。借由SIS 組件,AccuFiz 可以測量薄至 200 微米的透明平行光學元件的兩側,最後回報整個基板的光學厚度和均勻性。

測量基板的粗糙度

嚴格遵守表面光潔度的規格能夠確保塗層和基板都有進行黏合,並且厚度一致,還可以具體說明為了確保光學性能,鍍膜鏡和其他光學元件該如何進行最終表面處理。

NanoCam HD 系統可測量光學元件(鍍膜、未鍍膜)的表面粗糙度。NanoCam HD 採用 Dynamic Interferometry ® ,結合高速光纖感測器,讓擷取時間大大的縮短。NanoCam HD 可以在有振動的情況下進行測量,所以不管是拋光設備、龍門架或機器的末端執行器上都可以安裝,用來檢測基板的粗糙度。

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