玻璃基板／底材
玻璃基板是各種光學元件的基礎原料。玻璃毛坯經過研磨、塗層和拋光後，可用來製作鏡子和鏡片。此外，也可以在光學視窗上塗上多層濾光塗層，把它當作玻璃基板來使用。玻璃基板具有熱穩定性（thermally stable），在進行傳輸時十分穩定，厚度從微米到數公尺都有。
測量基板的平整度
在鍍膜的過程中，保持玻璃基板的平整度是十分重要的。除了玻璃本身之外，用來固定玻璃的吸盤也比須非常平整。4D 的多功能斐索干涉儀可快速、重複地測量直徑為 30-600mm 基板的整體平整度。此外，也有提供各種基座和高品質參考光學元件，來幫助完成測量。
測量基板的傳輸質量
用於傳輸的基底材料必須無粗糙度、高度均勻且光學厚度一致。 斐索干涉儀可測量基板的透射和反射，借由SIS 組件，AccuFiz斐索干涉儀 可以測量薄至 200 微米的透明平行光學元件的兩側，並回報整個基板的光學厚度和均勻性。
測量基板的粗糙度
透過對基板的粗糙度進行測量，我們可以跟據得出的結果來確定基板及塗層是否能進行黏合及確認兩者的厚度是否一致，還可以具體說明該如何對鍍膜鏡（coated mirrors）和其他光學元件進行最終表面處理。NanoCam HD 系統可測量光學元件（鍍膜、未鍍膜）的表面粗糙度。NanoCam HD 採用 Dynamic Interferometry ® ，結合高速光纖感測器，讓擷取時間大大的縮短。NanoCam HD 就算在有振動的情況下還是可以進行測量，所以不管是在拋光設備或是龍門架等…都可以安裝。
Technical Resources
技術文件下載
Measuring Sub-Angstrom Roughness
How do you measure roughness with sub-angstrom precision in a noisy manufacting environment? Read this white paper for a break-down of the options, and illustrations of the challenges presented by different solutions.
Measuring Homogeneity with the AccuFiz
A dynamic interferometry technique simplifies measurement of homogeneity to decrease measurement time and improve repeatability.