無塵室計量
無塵室對於品質控制試驗而言是一個嚴謹的環境，泵浦所產生的高速氣流和振動需要使用防震桌和氣流控制加以阻絕干擾。透過 4D 的 Dynamic Interferometry® 技術，實現的瞬時雷射干涉儀測量可以在無塵室內進行測量，不受振動和氣流的影響且無需使用防震桌。將測量設備置於無塵室內方便頻繁地進行測量，從而實現更好的品質監控。
如上圖，一臺NanoCam光學輪廓儀運作於無塵室內，以測量平面光學元件的拋光度。
我們的斐索干涉儀和泰曼-格林干涉儀對振動和氣流有良好的耐受性，因此也適用於無塵室測量。這些動態雷射干涉儀的波長範圍為 193 nm 至 10.6 微米，每天在世界各地的無塵室中被使用，測量包含 DUV 光刻光學機、紅外線光學系統等等。
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AccuFiz
AccuFiz 斐索干涉儀適用於各種侷限的空間。輕巧以及堅固的設計在各種測試環境下皆可發揮其穩定的特性。標準的AccuFiz雷射干涉儀提供波長從532nm~1.55um，口徑則可提供從33mm~600mm，並支援水平或垂直兩種量測模式。
PhaseCam
4D Technology的PhaseCam全系列產品，在高性能和功能創新方面不斷領先業界。4D PhaseCAM雷射干涉儀支援多種波段，從可見光到 3.39 um的波長範圍。
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Measuring Precision Telescope Optics (with a Streetcar Outside Your Door)
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