測量透明光學元件時，干涉儀測試軌跡中的所有表面都可能產生干擾。 大多數的光學元件厚度足夠，或其表面之間具有足夠大的斜角，因此通常只有一個表面與參考表面產生干涉。然而，當元件很薄且表面平行時，兩個表面都會與參考表面干涉，產生複雜的干涉圖，如下圖所示的薄玻璃。 使用這種密集的模板來測量表面是相當困難的。
通常解決這個問題的方法，是在一個表面上使用抗反射鍍膜，以便測量另一個表面；接著重複一樣的步驟，去除原先表面上的塗料，在另一個表面上使用抗反射鍍膜，便可在原先的表面上進行第二次的測量。 這是一項耗時耗力的操作，且會使光學元件面臨損壞的風險。
短相干性（同調性）光源測試
對於短相干性雷射光源，干涉僅發生在參考表面較窄距離範圍內的表面之間。 使用短相干性干涉儀，操作者可以隔離單一表面進行測量，即使在多組件系統中也是如此。 下方的干涉圖顯示了與上圖相同的玻璃，但由於這裡的短相干性光源，只有一個表面發生干擾並且不需要用上抗反射鍍膜。
同時測量兩個表面或更多表面
使用短相干性干涉儀，可先測量光學元件的前表面，再通過光學元件測量後表面，無需重新調整或重新對齊系統。經由這兩次測量，我們可以提取光學厚度變化和透過波前誤差。另外，增加空腔測量則可以進行均勻性測試。
測量拱形物件和其他曲面
高度彎曲的透明部件也可以用這種方式進行測量。但是，這些測量需要斐索干涉儀的一項附加功能：最小回返誤差，這會導致曲面測量出現顯著的誤差。AccuFiz D 短相干性干涉儀採用完全同軸設計，最大限度地減少回返誤差，且立即的「動態測量」可確保高精準度，即使在吵雜的環境中也不會受影響。 這樣的操作方式可以精確測量拱形物件。
像平面平行光學元件一樣，拱形物件的兩個表面都可以在單一測試裝置中進行測量。 參考球體將波前與拱形的標稱形狀相配對。 自動「路徑配對」機制精確地定位前方表面和後方表面的距離。
