4Di InSpec 自動測量系統 (AMS) 可提供高速且高解析度的缺陷以及特徵檢測。 此自動化系統可以在幾分鐘內完成過往或許需要數天的人工檢測流程,從而大大提高產出量並降低檢測的時間以及人工成本。
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