超光滑光學元件

  X 射線和深極紫外線反射鏡、同步加速器光學、半導體設備透鏡、雷射陀螺鏡和雷射諧振器等應用都需要超光滑光學表面。

  雖然新的製造技術使超光滑光學元件的生產技術進步了,但測量這些表面的計量技術卻落後了。 4D Technology 的 NanoCam HD 光學輪廓儀已被證明可以在工廠現場對超光滑表面紋路進行精準的非接觸式測量

測量超光滑光學元件的挑戰

  「超光滑」表面的 RMS 粗糙度 (Sq) 通常小於 0.1 nm。非接觸式光學輪廓分析是獲取光學表面 3D 資料的最佳方法。然而,經常使用的白光掃描法的本底雜訊通常都太高,無法測量亞埃粗糙度,即使使用相移干涉測量 (PSI) 也是如此。

  然而,NanoCam HD 等「動態」儀器會同時取得所有測量數據,而不是像掃描方法那樣按順序取得。如此快速的採集使 NanoCam HD 能夠在工廠環境中測量超光滑表面。

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使用NanoCam HD 測量超光滑表面

4D Technology 的 NanoCam HD 是一種用於控制生產超光滑表面的技術。 NanoCam HD 具有多項優勢,使亞埃測量成為可能:

  • 動態干涉測量使 NanoCam HD 能夠在廠房環境中測量產品的粗糙度,而無需使用到昂貴的隔振裝置
  •  Linnik 物鏡具有高分辨率可以為在白光系統中使用的 Mirau 物鏡提供卓越的空間解析度
  • 突發模式(連拍模式)下,系統可以快速的連續取得測量結果,然後在後處理階段進行分析。可最大限度地減少因環境條件變化而導致的漂移
  • 調整波束比來讓訊號雜訊比提高,如此一來會使雜訊測量的結果降低。 NanoCam HD 是唯一具有此功能的系統。
  • 可以自動對焦來適應環境的微小變化,包括熱漂移
  • 參考了減法消除了每次測試系統光學元件中的小誤差。
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測量大型光學元件

由於 NanoCam HD 對振動不敏感,因此可以安裝在機具上來測量大型光學元件。可以在光學元件的周圍進行快速測量,也可以透過保護性三腳架和無絨布將儀器手動放置在表面上。

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