在polishing centers和metrology lab之間移動小型的光學元件並不困難,但若是大型和超大型光學元件,就會變得耗時且容易產生問題。
一種解決方案是將測量設備直接安裝到拋光系統中,以減少搬運和固定裝置的時間。in situ polishing metrology需要克服的的挑戰是這類設備所產生的氣流、振動和噪音。測量系統必須足夠耐用和堅固,能夠承受這項應用方式所產生的振動與碎屑。
使用 4D 的動態干涉儀和光學輪廓儀進行瞬時測量,可以在有振動的情況下測量表面形狀 (PhaseCam) 以及表面粗糙度 (NanoCam HD)。 這兩個系統皆已直接整合到拋光設備當中,為許多世界一流的望遠鏡和太空光學計畫的拋光過程提供即時的回應。
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High Throughput Measurement Speeds Production of Large Mirrors
This article discusses the challenges of measuring large optics during polishing, how Dynamic Interferometry
has been applied to overcome these challenges, and the benefits to optics manufacturers of employing the
technique.