在透射的過程中，樣品正面及背面外形上的不完整和不均勻性也會導致誤差。隔絕這些誤差來源不容易，尤其當光學元件的前側表面和後側表面接近平行時。使用傳統干涉儀進行測量的過程是費時費力的，因為它會一一校準每個測量步驟。當使用大型的光學元件儀器時，程序的繁瑣程度更甚。
AccuFiz D使均勻性的測量更加簡單
AccuFiz D 短同調性干涉儀使均勻性的試驗簡化為僅需要進行三個測試且只需單一的測試設定，每一個步驟皆不需進行重新校準。
抗震測試
AccuFiz D 同時提取全部的相位數據，讓積分時間縮短，從而使系統對振動和空氣亂流不敏感。即使沒有隔絕外在干擾因素，也能夠精準地測量均勻性。
Solid Cavity Measurements
AccuFiz D與傳統的干涉儀不同， 在測量的過程中，不需要相對於測試表面平移參考表面。 這也是為何能夠測量the “solid cavity”的原因，因為可以使用光學元件的兩個表面作為測試和參考。此測試無法透過相移式干涉儀來進行測量。
阻絕反射
AccuFiz D 擁有短同調性 (~300 μm) 雷射光源，可阻隔光路中來自pair of reflections的干擾。 系統內部的「路徑匹配」功能可讓您選擇感興趣的表面對，進而能夠阻隔每個表面和材料本身所造成的誤差。
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A new technique simplifies measurement of homogeneity to decrease measurement time and improve repeatability.