超光滑光學元件

4D Technology 的 NanoCam HD 是一種用於控制生產超光滑表面的技術。 NanoCam HD 具有多項優勢，使亞埃測量（ sub-angstrom roughness）成為可能：

• 動態干涉測量技術（Dynamic Interferometry）使 NanoCam HD 能夠在廠房環境中測量產品的粗糙度，且不會因振動而受到影響
•  具有解析度的Linnik objectives可以為 Mirau objectives提供卓越的空間解析度
• 在突衝模式（Burst mode）下，系統可以快速的連續取得測量結果，然後在後處理階段進行分析，可最大限度地減少因環境條件變化而產生的影響
• 調整光束比（beam ratio）來讓訊號雜訊比提高，如此一來會使雜訊測量的結果降低。 NanoCam HD 是唯一具有此功能的系統。
• 可以自動對焦來適應環境的微小變化，例如：熱漂移（thermal drift
• 參考了subtraction來消除了每次測試中系統所產生的小誤差。